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空氣污染防治

  • 揮發性有機物排放係數法規因應:華映已符合法規標準要求進行空氣污染防制相關措施,並採用最新進之沸石轉輪燃燒塔進行揮發性有機物的減量。在法規實施同時起徵收揮發性有機物空氣污染防制費。由於營運中各廠排放強度皆有不同,經嚴格控管後揮發性有機物排放係數應較公告值為低,致有溢繳情形,故著手進行自廠係數建置,以期向桃園縣政府申請自廠係數認定後,可降低揮發性有機物空氣污染防制費用,後續再將所降低費用投注在防制設備效率維持及提昇。
  • 全氟化物PFCs氣體處理:華映桃園廠及龍潭廠TFT製程成膜及乾蝕刻程序中所使用的製程氣體即為SF6 及NF3,故會在尾氣排放出未完全反應之全氟化物氣體,因SF6 及NF3為全球暖化潛勢 (GWP)很高之溫室氣體,華映以高溫燃燒方式先行破壞其氣體分子,並再佐以袋濾式集塵設備捕捉於燃燒過程中所衍生的二次污染固型物& mdash;二氧化矽,最後搭配洗滌塔洗去廢氣中之特殊氣體分子,目前效率可達90%以上。
  • 酸鹼性氣體處理:華映桃園廠及龍潭廠 TFT及楊梅廠CF製程排氣─酸/鹼性氣體,經由酸或鹼性藥劑與水充分接觸、混合,將排氣中之酸/鹼分子溶解水中,其所衍生之洗滌水流至廢水處理廠處理,而經去除後的酸/鹼性分子之排氣則以pH7~9排放至大氣中,廠區於洗滌塔設置自動加藥系統,可達到即時監控pH值、餘氯、導電度值等,以確保洗滌塔之洗滌效率。